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                                                          <p id="zbb5z"></p>

                                                            <ruby id="zbb5z"></ruby>
                                                                    <ruby id="zbb5z"><b id="zbb5z"></b></ruby>
                                                                          <del id="zbb5z"></del>

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                                                                            <p id="zbb5z"><cite id="zbb5z"></cite></p>
                                                                            <pre id="zbb5z"><ruby id="zbb5z"></ruby></pre><pre id="zbb5z"><b id="zbb5z"></b></pre>

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                                                                                                  2024-05-13 10:32
                                                                                                  103

                                                                                                  在半導體制造中,硅片是芯片制造的基礎材料,其規格和特性對最終產品的性能至關重要,但如果了解硅片的設計,很容易發現2、4、6寸硅片經常留有旁邊(Flat)設計,這是為什么?

                                                                                                  1.png

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                                                                                                  平邊,也叫做定位邊,是硅片上被刻意切割出一個或多個缺覺,這些平邊在硅片被切割成單片之前,就已經在硅錠上通過金剛鋸切割而成,平邊的作用如下:

                                                                                                  ·定位與對準:在制造過程中,平邊可幫助設備精確定位和對準硅片,確保后續加工步驟的準確性和一致性;

                                                                                                  ·晶向識別:平邊的位置和數量與硅片的晶向密切相關,通過觀察平邊配置,可迅速判斷硅片的晶向類型,如<111>、<110>或<100>。

                                                                                                  2、平邊與晶向的關系是什么?

                                                                                                  硅片的晶向對其物理和化學性質具有重要影響,常見的晶向包括<111>、<110>和<100>,而平邊的配置與晶向之間存在特定的對應關系:

                                                                                                  當主定位邊與次定位邊夾角為45°時,硅片類型為n型<111>。

                                                                                                  當主定位邊與次定位邊夾角為90°時,硅片類型為p型<100>。

                                                                                                  當主定位邊與次定位邊夾角為180°時,硅片類型為n型<100>。

                                                                                                  注:對于<110>晶向,由于其不是主流的硅片晶向,因此沒有一個統一的標準來表示。硅片供應商可以根據自己的標準來設定<110>晶向的平邊配置。

                                                                                                  3、為什么要在2、4、6寸硅片添加平邊?

                                                                                                  ·提高加工效率:通過平邊可進行定位和對準,顯著提高設備的加工效率,降低廢品率;

                                                                                                  ·保證產品質量:精確的晶向識別有助于確保芯片物理和化學符合設計要求,從而提高產品質量;

                                                                                                  ·便于追溯與管理:平邊的配置可以作為硅片的身份標識,方便制造商對硅片進行追溯和管理。


                                                                                                  本文凡億企業培訓原創文章,轉載請注明來源!

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